
Corte con hilo de diamante sin fin para la fabricación de semiconductores: De la eficiencia del lingote a la oblea y el aumento del rendimiento posterior al proceso
En la fabricación de semiconductores, la preparación de las obleas define no sólo la utilización del material, sino también el rendimiento global en los procesos posteriores. A medida que los dispositivos semiconductores de silicio, carburo de silicio (SiC) y compuestos aumentan en