В нашем решении для резки карбида кремния используется бесконечная алмазная проволочная пила с шириной пропила 0,35 мм, что позволяет сэкономить 601 тонну материала, теряемого из-за пыли от ленточной пилы, и получить на 2–3 пластины больше с каждого слитка.
Карбид кремния (SiC) имеет твердость 9,5 по шкале Мооса — уступает только алмазу. Сочетание чрезвычайной твердости, хрупкости и высокой теплопроводности делает его чрезвычайно сложным для чистой резки. Выбор правильного материала Решение для резки SiC Это крайне важно: неправильный метод разрушает именно те материальные свойства, которые делают SiC ценным.
Обе формы требуют Решение для резки SiC that applies minimal cutting force to prevent micro-cracking — while delivering the geometry flexibility that sintered SiC industrial applications require.
Сегодня в обработке карбида кремния доминируют три метода. Понимание их компромиссов — первый шаг к выбору правильного метода. Решение для резки SiC for your production volume, surface quality requirements, and material cost constraints.
| Метрика | Ленточная пила | Диск для нарезки идентификаторов | ★ Бесконечная проволочная пила (Vimfun) |
|---|---|---|---|
| Ширина пропила | 1,0 – 1,5 мм | 0,3 – 0,5 мм | ✔ 0,35 – 0,45 мм |
| Качество поверхности среза | Волнистый, шероховатый | Хороший, ограниченный размер | ✔ Плоский, Ra < 1,0 мкм |
| Максимальный размер заготовки | Большой | Малый (< Ø 200 мм) | ✔ До 800 × 800 мм |
| Снижение напряжения в материале | Высокая вибрация | Средний | ✔ Холодная резка с низким усилием |
| Возможность создания сложных форм | ✕ Только прямые | ✕ Только прямые | ✔ 2D-профили и 3D-конусы |
| ROI на один слиток SiC | Исходный уровень | Умеренное увеличение | ✔ +2–3 дополнительных пластины на слиток |
Video: Splitting a Silicon Carbide (SiC) Tube with Vimfun Endless Diamond Wire Saw
Что делает Vimfun таким особенным? Решение для резки SiC different is the endless loop wire technology. The wire forms a closed circle running at up to 80 m/s — no reversal marks, no vibration spikes, and no directional inconsistency.
Проволока 0,35 мм против ленточной пилы 1,2 мм. При работе с дорогим кристаллом SiC каждый миллиметр экономии напрямую влияет на выход годной продукции.
Исключительно плоские срезные поверхности сокращают время шлифовки торцов и сохраняют длину слитка, что позволяет получить больше пластин из одного слитка.
Высокая линейная скорость обеспечивает гладкую поверхность с шероховатостью Ra и равномерное абразивное воздействие по всей ширине реза.
Станки серии SVI обрабатывают слитки SiC размером до 800 × 800 мм, включая 6-дюймовые и 8-дюймовые заготовки.
Профильные, конусные и внутренние контурные разрезы — выход за рамки прямой нарезки для сложных форм компонентов из карбида кремния.
Отправьте свой образец SiC в Vimfun. Получите полный отчет о качестве поверхности и измерение ширины пропила совершенно бесплатно.
В этом видео показано, как работает наша система. Решение для резки SiC extracts maximum value from sintered SiC material. From a single Ø150mm SiC disc, the SGI 20 cuts 7 circular wafer blanks of Ø47mm — using contour cutting to trace each wafer's profile precisely with minimal kerf loss between parts.
Свойства карбида кремния — высокое напряжение пробоя, теплопроводность и подвижность электронов — делают его незаменимым в быстрорастущих отраслях промышленности. Компания Vimfun Решение для резки SiC is trusted by manufacturers in each of these sectors.
Силовые модули на основе SiC работают при более высоких напряжениях и температурах, чем кремниевые, что позволяет создавать более компактные и легкие компоненты трансмиссии электромобилей. Проволочная пила Vimfun позволяет получать готовые к раскрою подложки из SiC с плоской поверхностью, необходимой для эпитаксиального роста.
Узнайте больше о резке полупроводникового SiC →
При крупномасштабном производстве 4H-SiC этап обрезки является основным источником отходов материала. Замена ленточной пилы на бесконечную проволоку Vimfun диаметром 0,35 мм только на этом этапе позволяет получить на 2–3 пластины больше с каждого слитка — это значительно повышает выход годной продукции.
Ознакомьтесь с анализом области интереса (ROI) при тонкопроволочном разрезании →
Спеченный карбид кремния широко используется в механических уплотнениях, приспособлениях для полупроводниковых процессов, броне и высокотемпературных конструкционных компонентах. В отличие от кристаллического карбида кремния, спеченный карбид кремния поставляется в виде крупных блоков и требует различных методов резки: прямой нарезки, контурной резки и извлечения круглых заготовок из материала больших размеров.
Для этого специально разработаны станки Vimfun SGI 20 (контурная резка) и SH60-R (горизонтальная ротационная резка): SGI 20 высекает сложные 2D-профили из спеченных блоков, а SH60-R за один ротационный проход вырезает круглые заготовки большого диаметра из объемного материала.
Изучите решения для промышленной резки карбида кремния →Кристаллический карбид кремния (SiC) и спеченный карбид кремния имеют разные требования к резке — и для них требуются разные оптимальные станки. Три модели, представленные ниже, охватывают весь ассортимент продукции Vimfun. Решение для резки SiC: precision crystal wafer slicing, large sintered block contour and profile cutting, and horizontal rotary cutting for round wafer blanks.
Не уверены, какой станок соответствует вашим требованиям? Запросить индивидуальную инженерную консультацию →
Лучший способ оценить любой Решение для резки SiC is to see real results. Send SiC samples to Vimfun for a free test cut and receive a full surface quality and kerf measurement report.
Отправьте свой материал из карбида кремния в компанию Vimfun и получите полный анализ качества резки с отчетом о качестве поверхности, данными об измерении ширины пропила и рекомендациями по выбору станка — совершенно бесплатно.
В настоящее время самая эффективная пила с алмазной проволокой без лезвия Решение для резки SiC В наличии. Благодаря диаметру проволоки 0,35 мм, это решение для резки карбида кремния снижает потери ширины пропила на 601 TP5T по сравнению с ленточными пилами, обеспечивая при этом более плоскую поверхность реза (TTV < 0,02 мм), что значительно уменьшает необходимость последующей шлифовки.
Замена ленточной пилы с диаметром пропила 1,2 мм на проволоку Vimfun с бесконечным пропилом диаметром 0,35 мм уменьшает ширину пропила примерно на 0,85 мм за один разрез. На слитке SiC диаметром 150 мм (6 дюймов) это означает получение на 2–3 пластин больше с каждого слитка. Учитывая цены на кристаллы SiC, такая окупаемость инвестиций обычно достигается в течение нескольких месяцев после начала производства.
Да, оба типа хорошо поддерживаются, но требования к резке у них совершенно разные. Кристаллический SiC Для получения пластин (из 4H-SiC) в первую очередь требуется точная прямая нарезка, позволяющая получить максимальное количество пластин с минимальными потерями в пропиле. Спеченный SiC requires more diverse operations: straight slicing, 2D contour cuts for shaped parts, and cutting round wafer blanks from large blocks. The SGI 20 handles contour and profile cuts; the SH60-R excels at cutting large-diameter circular blanks from sintered blocks via horizontal rotary cutting; the SG15 serves crystal SiC R&D and sample work.
Да. Vimfun предлагает бесплатная услуга пробной резки алмазной проволокой. Отправьте нам образец SiC с указанием технических характеристик, и наши инженеры выполнят резку и предоставят подробный отчет о качестве поверхности (Ra), ширине пропила и TTV, а также рекомендации по выбору оборудования, адаптированные к вашим производственным требованиям.
Оба метода резки карбида кремния являются жизнеспособными. Лазерная резка создает зону термического воздействия (ЗТВ), которая может изменять кристаллическую структуру карбида кремния — проблема, актуальная для полупроводниковых подложек. Резка с помощью бесконечной проволочной пилы — это механический процесс холодной резки, который сохраняет целостность кристаллов, не создает ЗТВ и обеспечивает значительно больший выход материала при резке слитков.
Talk to a Vimfun cutting engineer about your silicon carbide processing requirements. Get a free test cut, a custom machine recommendation, or a detailed ROI analysis for your production line.
Не волнуйтесь! Мы знаем, что приобретение резальных машин, отвечающих вашим требованиям, может быть очень сложной задачей. Наши профессиональные специалисты по резке всегда готовы оказать вам поддержку:
